6차시_플라즈마 장비 주변부 - Scrubber, Pump
- Pump
'반도체공부 > 반도체 공통요소기술' 카테고리의 다른 글
| 반도체 공통요소기술의 이해_플라즈마 장비 주요부 MFC, Vaporizer (0) | 2023.07.15 |
|---|---|
| 반도체 공통요소기술의 이해_반도체 플라즈마 장비 및 진공 부품 이해 (0) | 2023.07.14 |
| 반도체 공통요소기술의 이해_반도체 공통요소 기술-진공, 플라즈마 (0) | 2023.07.13 |
| 반도체 공통요소기술의 이해_반도체 장비 구성요소 및 공정별 장비 (0) | 2023.07.11 |
