euv1 반도체 공통요소기술의 이해_반도체 장비 구성요소 및 공정별 장비 한국반도체 산업협회의 한국 반도체 아카데미에서 진행하는 "반도체 공통요소기술의 이해" 내용 정리1차시_반도체 장비 구성요소 및 공정별 장비▶ 반도체 장비 구성요소반도체 산업에서 반도체 장비란? " 반도체 생산을 위해 준비하는 웨이퍼 제조/가공을 포함해 칩 생산 조립 검사에 활용되는 모든 장비를 통칭함 "반도체 설비운영 방식과 그 중요성 반도체 제조기술은 한 방향으로 진행되는 순차적 공정이 아님. 제품에 필요한 패턴이나 특성을 만들기 위한 그에 맞는 공정 진행되는 제작 방식 .설비의 운영 환경 반도체 장비들은 특별한 환경에서 가동됨.Fabrication Facility (Fab)은 Clean Fab이라 부르며 마이크로 단위의 파티클 오염을 컨트롤 하는 Clean room이라는 특수 공간임. 팹 하부 층에.. 2023. 7. 11. 이전 1 다음
