gauge1 반도체 공통요소기술의 이해_반도체 플라즈마 장비 및 진공 부품 이해 3차시_반도체 플라즈마 장비 및 진공 부품 이해 진공 / 플라즈마 장비의 중요성 반도체 공정을 진행하기 위해서는 진공과 플라즈마가 반드시 필요한 요소입니다. 이는 내부에 존재하는 기체가 적기도 하지만 오염도가 낮아 불량율을 낮추는데 큰 기인을 합니다. 그리고 공정 시간을 단축시키고 제어가 용이한 플라즈마 형성이 가능하다는 장점을 가지고 있습니다. 각 플라즈마 장비에서 진공에 따라 공정의 특성이 달라질 수 있습니다. 고순도의 공정을 진행할 수 있으며 분석을 진행할 때에도 진공을 이용하여 대기 중의 노출을 방지하거나 외부로부터 표면이 오염되는 것을 방지하는 목적으로 사용합니다. 그렇다면 이렇게 중요한 진공 및 플라즈마 장비는 실제 산업에서 많은 비중을 차지하고 있을까요? 반도체 장비의 비중은 전공정 70%.. 2023. 7. 14. 이전 1 다음
